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  • 雙軸運動控制，雷射退火循跡掃描
  • 自動化電化學加工，微蝕刻系統
  • 自動倉儲管理系統
  • 製藥流程監控系統
  • 12吋晶圓自動化旋轉塗佈烘烤控制
  • TAF認證實驗室，溫溼度網路自動記錄，環境監控系統
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