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光學膜厚即時監控

光學膜厚即時監控

特色

「光學膜厚監控系統」可適用於光學多 層膜之薄膜自動化製程,適用於塑膠與玻璃基板上製作光學關鍵零 組件品,應用於光學顯示與光通訊技術發展之關鍵元件。可提高鍍膜製程之穩定度與良率,促使新產品開發,提升產品的附加價值 與市場競爭力。

為建立自動化光學鍍膜系統,本公司發展出可以協助國內鍍膜產業自動化升級的系統。由於光學薄膜少則二層,多則數十層,如果完全依賴人工鍍膜,則容易造成膜厚誤判,影響產能,造成企業損失。本產品則可彌補人工判斷的不足,採用廣波域監控的方式,監控多波長的穿透率變化,提升產品良率。

主要功能

  1. 屬於廣波域光學監控
  2. 光學薄膜高低介電膜之厚度控制,自動判斷停鍍點
  3. 監控波長為380nm ~ 900nm
  4. 自動選擇監控波長,也可手動選擇
  5. 預先評估每層薄膜的鍍製行為
  6. 具模擬功能,可用於教學、Demo
  7. 相容於光學膜厚設計軟體,
  8. 防止輸入錯誤之設定檔參數編輯功能
  9. 人機圖形介面,明瞭易懂
  10. 鍍膜過程之全光譜完全紀錄,有助於日後分析、訓練與教學之用

應用領域

可使用本系統用於鍍製以下薄膜:
  • 彩色濾光片 (Color Filter)
  • 抗反射膜 (AR)
  • 相機鏡頭抗反射膜之製鍍
  • 投影機之紅、綠、藍濾光片製鍍
  • 雷射反射鏡
  • 光通訊元件
  • 防偽商標製作
  • 半導體與光電產業等相關鍍膜產業
  • 真空系統與鍍膜製程設備產業
  • 光學系統關鍵零組件

 

軟體畫面


 

 

軟體架構

 

 

 

成品圖庫

 

 

 

 

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